MAG470 DN 40 CF-F, FCC
399-360
Opciones Drop-in
¡Revolucione su experiencia de medidores de vacio con nosotros!
El medidor de vacío de magnetrón invertido MAG470 es para todas las aplicaciones de vacío ultraalto. El rango de medición es de 5x10-11 mbar a 1x10-2 mbar.
Ventajas
- No se quema el filamento
- Versión ampliada, horneado del sensor hasta 250°C
- Excelentes propiedades de ignición
- Fácil de limpiar
- Paso de alimentación con sellado metálico
- Indicador LED de alta tensión activada
- Señal de salida analógica logarítmica
Aplicaciones típicas
- Control de la presión de vacío ultraalto
- Presión base para sistemas de evaporación y sputtering
- Medición y control general del vacío en el rango de vacío medio y alto
Especificaciones
MAG470
MAG470 extended
| Measurement range (air, N2) | mbar Torr | 5x10-11 … 1x10-2 3.8x10-11 … 7.5x10-3 |
| Accuracy | ||
| 1x10-9 ... 1x10-3 mbar | % of reading | ≈±30 |
| Repeatability | ||
| 1x10-9 ... 1x10-3 mbar | % of reading | ≈±5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | +5 ... +55 |
| Storage | °C | -40 ... +65 |
| Bake-out | °C | 250 1) |
| Supply voltage | ||
| At gauge | V (dc) | +15 ... +30 |
| At supply unit with max. cable length (3) | V (dc) | +16 ... +30 |
| Ripple | V (p-p) | ≤1 |
| Power consumption | W | ≤2 |
| Materials exposed to vacuum | Stainless steel, Al2O3, Ag | |
| (1) Without electronics magnetic shielding (2) 250°C in defined area, see dimension (3) The minimum voltage of the supply unit must be increased proportionally to the length of the sensor cable | ||
| Measurement range (air, N2) | mbar Torr | 5x10-11 … 1x10-2 3.8x10-11 … 7.5x10-3 |
| Accuracy | ||
| 1x10-9 ... 1x10-3 mbar | % of reading | ≈±30 |
| Repeatability | ||
| 1x10-9 ... 1x10-3 mbar | % of reading | ≈±5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | +5 ... +55 |
| Storage | °C | -40 ... +65 |
| Bake-out | °C | 250 2) |
| Supply voltage | ||
| At gauge | V (dc) | +15 ... +30 |
| At supply unit with max. cable length (3) | V (dc) | +16 ... +30 |
| Ripple | V (p-p) | ≤1 |
| Power consumption | W | ≤2 |
| Materials exposed to vacuum | Stainless steel, Al2O3, Ag | |
| (1) Without electronics magnetic shielding (2) 250°C in defined area, see dimension (3) The minimum voltage of the supply unit must be increased proportionally to the length of the sensor cable | ||
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Información para pedidos
Producto
Piezas de recambio
Accesorios
MAG470 DN 40 CF-F, extendet
399-361
Repair set IKR 060/070/26x/270 MAG470
351-990
Repair set IKR 060/070/26x/270 MAG470
351-990
MPG40x Ignition tool set
351-994
MPG40x Ignition tool set
351-994
MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-995
MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-995
MPG401 Maintenance set
351-997
MPG401 Maintenance set
351-997
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