Vacuómetro de ionización en caliente

BCG450

ATM to Ultra High Vacuum TripleGauge®

Precios y Disponibilidad
BCG450 TripleGauge
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Más Flexibilidad. Mejor estabilidad.

Modo de emisión deslizante, chip de calibración extraíble, electrónica con aislamiento galvánico, pantalla OLED opcional (giratoria 90°) y mucho más.
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El medidor de diafragma de capacitancia (Triple-Gauge™) Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BCG450, combina las ventajas de tres tecnologías diferentes en un único paquete compacto y económico para medir la presión de proceso y de base de 5×10-10 a 1500 mbar (3,75×10-10 a 1125 Torr).

El BCG450 está diseñado para ocupar el lugar de tres sensores (ion caliente, Pirani mejorado por convección y vacuostato), reduciendo así el coste y el valioso espacio de la herramienta.

También disponible con interfaz digital PROFINET.

Ventajas

  • El BCG450 ahorra costes y espacio de herramientas y reduce la complejidad de la instalación y configuración de la medición de vacío
  • La medición de presión independiente del tipo de gas por encima de 10 Torr proporciona un control de bloqueo de carga más fiable para cualquier mezcla de gases
  • El enclavamiento Pirani protege el filamento caliente de un quemado prematuro
  • El ajuste automático Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario
  • La medición de la presión diferencial en la atmósfera elimina la incertidumbre relacionada con los cambios de presión atmosférica
  • Elemento sensor fácil de intercambiar con datos de calibración integrados que garantizan la reproducibilidad.
  • Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles
  • Conformidad con RoHS

Aplicaciones típicas

  • Medición de la presión en cámaras de proceso, transferencia y esclusa de carga de semiconductores
  • Recubrimiento industrial
  • Medición y control del vacío general en sistemas de vacío bajo a ultraalto

Especificaciones

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1500
3.75×10-10 … 1125
   
Accuracy  
10-8 … 50 mbar% of reading±15
50 … 950 mbar% of reading±5
950 … 1050 mbar% of reading±2.5
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange°C80
Bakeout electronics removed°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
20 … 28
0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
Descargue aquí las especificaciones completas

Información para pedidos

Producto
Piezas de recambio
Accesorios
BCG450-PN TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-517
BCG450-PN TripleGauge; DN 40 CF-R
353-518
BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-550
BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-551
BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-552
BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-553
BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-554
BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
353-556
BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-557
BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.
353-558
BCG450-SE TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-592
BCG450-SE TripleGauge; DN 40 CF-R
353-593
BCG450-SE TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-598
BCG450-SE TripleGauge; DN 40 CF-R
353-599
BCG450 Spare measurement system DN25 KF
354-492
BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.
354-493
Centering ring with baffle DN 25 KF
211-113
15D-Sub Power Supply for BxG w/RS233
353-511
Baffle for BPG400
353-512

Descargas

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