BCG450
ATM to Ultra High Vacuum TripleGauge®

¡Revolucione su experiencia de medidores de vacio con nosotros!

Más Flexibilidad. Mejor estabilidad.
El medidor de diafragma de capacitancia (Triple-Gauge™) Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BCG450, combina las ventajas de tres tecnologías diferentes en un único paquete compacto y económico para medir la presión de proceso y de base de 5×10-10 a 1500 mbar (3,75×10-10 a 1125 Torr).
El BCG450 está diseñado para ocupar el lugar de tres sensores (ion caliente, Pirani mejorado por convección y vacuostato), reduciendo así el coste y el valioso espacio de la herramienta.
También disponible con interfaz digital PROFINET.
Ventajas
- El BCG450 ahorra costes y espacio de herramientas y reduce la complejidad de la instalación y configuración de la medición de vacío
- La medición de presión independiente del tipo de gas por encima de 10 Torr proporciona un control de bloqueo de carga más fiable para cualquier mezcla de gases
- El enclavamiento Pirani protege el filamento caliente de un quemado prematuro
- El ajuste automático Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario
- La medición de la presión diferencial en la atmósfera elimina la incertidumbre relacionada con los cambios de presión atmosférica
- Elemento sensor fácil de intercambiar con datos de calibración integrados que garantizan la reproducibilidad.
- Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles
- Conformidad con RoHS
Aplicaciones típicas
- Medición de la presión en cámaras de proceso, transferencia y esclusa de carga de semiconductores
- Recubrimiento industrial
- Medición y control del vacío general en sistemas de vacío bajo a ultraalto
Especificaciones
Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1500 3.75×10-10 … 1125 |
Accuracy | ||
10-8 … 50 mbar | % of reading | ±15 |
50 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
Repeatability | ||
10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
Temperature | ||
Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
Storage | °C | -20 … +70 |
Bakeout at flange | °C | 80 |
Bakeout electronics removed | °C | 150 |
Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass |